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压力传感器在半导体制造中的作用

压力传感器在半导体制造中的作用

  • 分类:行业新闻
  • 作者:csppm
  • 来源:钛合电子
  • 发布时间:2024-02-28 15:01
  • 访问量:

【概要描述】    如今,半导体制造工艺快速发展,每一代新技术都在减小集成电路(IC)上各层特征的间距和尺寸。晶圆上高密度的电路需要更高的精度以及高度脆弱的先进制造工艺。

压力传感器在半导体制造中的作用

【概要描述】    如今,半导体制造工艺快速发展,每一代新技术都在减小集成电路(IC)上各层特征的间距和尺寸。晶圆上高密度的电路需要更高的精度以及高度脆弱的先进制造工艺。

  • 分类:行业新闻
  • 作者:csppm
  • 来源:钛合电子
  • 发布时间:2024-02-28 15:01
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    如今,半导体制造工艺快速发展,每一代新技术都在减小集成电路(IC)上各层特征的间距和尺寸。晶圆上高密度的电路需要更高的精度以及高度脆弱的先进制造工艺。

    压力传感器用于整个IC制造中,以在半导体工艺的各个阶段执行实时压力测量。一些一般作用用途包括:

 

    (1)通过持续施加压力来提高晶圆抛光头的精度和控制。

    (2)通过检查晶圆抛光头的效率来保证持久的晶圆清洁。

    (3)限制破裂或无边界晶圆的数量。

    (4)需要均匀的压力以避免管芯开裂或断开电气连接。

    (5)板和其他部件的明显磨损会导致晶圆键合错误

 

 

    为了确保高质量,半导体制造对压力测量技术提出了非常高的要求。即:多范围技术和高级数字滤波。

    多范围技术:多量程技术使一个压力传感器能够在多个压力范围内工作。由于晶圆批次拥有许多层,并且粘合或封装可能不同,因此压力要求往往会有所不同。多量程使一个传感器能够在不降低性能的情况下进行调整,以满足各种制造工艺的压力需求。

 

    高级数字滤波:半导体制造要求精度,而空调或其他设备的噪音、建筑物振动等外部因素会严重影响压力传感器的精度。集成高级数字滤波技术,可以在噪声到达制造过程之前将其去除。因此,噪声会在成为可能产生不准确读数的错误信号之前被消除。

 

    半导体制造正在快速发展,每一代新技术都在减小IC特征的尺寸和间距。晶圆上电路密度的增加对压力测量技术提出了较高的要求,以确保高质量的工艺。

 

    钛合电子的专业生产销售的压力传感器技术为半导体设备提供各种优势,如高稳定性、高精度、先进的数字滤波和多范围技术。

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