在微压测量领域中，由于压力数值较小，对敏感元件产生的物理变化也相应的小很多，这就要求了敏感元件需要具有较高的灵敏度。谐振式压力传感器由于灵敏度较高，频率对压力的变化更为敏感，因此在低压高精度的测量中，有着比较好的性能表现，相对价格也比较高。当精度要求不是很高的情况下，扩散硅和电容式可以兼顾精度和成本。例如电容式真空传感器，利用被测介质的介电常数的变化，可以精确的测量低真空度。扩散硅压力传感器的灵敏度相对较大，部分可以达到（1~2）mV/V/kPa，也可应用于微压下的表压绝压测量。

    在低压和中压的测量应用中，可选择范围较为广泛，高精度可选谐振式，中等精度水平可以选用扩散硅式，陶瓷电容电阻式，金属应变式等传感器。扩散硅式灵敏度高，体积小，生产工艺复杂，相对成本略高；陶瓷式成本低，精度低，适合大批量低成本应用，受限于材料的特性，灵敏度较低，不耐压力瞬变和机械冲击；金属应变式兼顾成本和精度，采用热处理的弹性体，可以适应不同的测量介质要求，敏感元部分根据不同的工艺，有溅射薄膜，玻璃微熔，应变片等，覆盖低灵敏度到高灵敏度的范围，受限于弹性体工艺限制，在低压力下的测量时，精度较差，优点是金属的弹性体可以承受较大的冲击。

    中高压的应用中，扩散硅和金属应变式各有着广泛的应用，陶瓷受限于材料的强度，高压耐受强度较差。高压应用中，金属应变式有较大的优势，得益于金属弹性体材料的强度，可以承受几百兆帕的压力，同时能够应对较大冲击的应用场景，例如在石油压裂领域有着非常广泛的应用。

    压力传感器按照准确度等级来看，覆盖从高精度的0.01级到低精度的4.0级，通常谐振式压力传感器能覆盖从低压到高压，0.01级到0.05级的测量要求，扩散硅传感器的精度等级范围为0.02~0.5级，陶瓷类的传感器等级为0.2~4.0级，金属应变式0.5~4.0级。